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PrimaScan P 系统提供全表面缺陷和污染检测，具有玻璃面板基板的成像功能。

PrimaScan R&D 系统是 PrimaScan 自动晶圆缺陷和污染检测系统的独立手动加载版本，专为研发和实验室环境而设计。

PrimaScan 晶圆缺陷检测系统以最低的每次拥有成本提供灵活、高灵敏度的解决方案。

Celero PL 系统专为碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 基晶圆和化合物半导体材料的表面下缺陷检测和分类而设计。

Element S 系统提供了基于传输和反射的技术的独特组合，使其成为介电监测的重要工具。

PrecisionWoRx VX4 系统旨在通过对具有更紧密间距、更小焊盘和更高引脚数的最新探针卡技术的增强测试来提供准确且可重复的性能。

先进的TSURUGI Plus-Ⅲ剱是我们沉积工艺设备系列中的顶级型号。该热处理平台能够在结构日益精密和精细的下一代器件上实现高难度沉积和高生产率。由于大幅增加了成膜所需的表面积，并采用了新技术，在结构日益复杂的3D堆叠器件上实现了高难度沉积，因此该平台可以提供高质量的加工。