IVS 380 系统为先进封装、功率、复合半导体和 MEMS 提供叠层、CD 和 z 高度计量，提供世界一流的性能和灵活性，无需更改硬件即可适应不同尺寸和厚度的基板。

产品概述

IVS 380 是一款光学覆盖、CD 和 z 高度计量系统，专为大批量制造而设计，具有 SMIF（200mm 基板）或 FOUP（300mm 基板）装载端口兼容性。它可处理各种先进封装基板，包括硅、玻璃和 CCL，尺寸为 200 毫米和 300 毫米。

IVS 380 系统以 IVS 系列在 CMOS、MEMS 和化合物半导体应用领域 40 年的经验为基础，具有多功能性，可以处理不同基板和层的重叠、CD 和 z 高度测量。它测量 xy 平面中的关键尺寸以及 RDL 金属线、柱和凸块等特征的垂直 z 高度。光学器件可以聚焦于大多数透明材料（例如光致抗蚀剂）和粗糙表面（例如电镀铜）。

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IVS 280系统

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