EB Mask WriterEB 掩模写入器EB Mask Writer是以电子束写入控制技术为核心技术,集成了精密机械控制、大规模数据处理、激光测量技术等先进基础技术的设备。授予日期2013 年 3 月 22 日奖项名称大河内纪念制作大奖(2012年)查看详情