PrimaScan P 系统提供全表面缺陷和污染检测，具有玻璃面板基板的成像功能。

产品概述

随着面板级封装 (PLP) 从覆铜板 (CCL) 过渡到玻璃，行业必须进行调整，以确保起始基板不存在致命缺陷和污染或潜在缺陷，这些缺陷可能会导致产量损失或在工艺流程的后期阶段导致面板报废。 PrimaScan P 系统专门设计用于解决先进 IC 基板 (AICS) 和扇出面板级处理 (FOPLP) 领域的传入玻璃面板质量控制问题。

PrimaScan P 系统通过专有的光学和传感技术提供独特的基于激光的扫描和成像，以便在研发或大批量制造环境中可靠地检查纳米尺寸的缺陷。利用多通道检测技术，该系统可以检测、测量和成像表面颗粒、划痕、凹坑、表面污染、污渍、薄膜或块状面板应力、空隙/夹杂物，包括面板边缘的缺口和裂纹。

应用领域

来料无图案玻璃面板质量检验

毯式光致抗蚀剂、介电或金属涂层面板

透明和半透明覆盖薄膜中的埋藏缺陷和空隙

跨面板应力和诱导点应力

特色市场

先进封装

裸晶圆和面板制造

PrimaScan™ 系统

PrimaScan™研发系统

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