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小批量沉积设备先进的 TSURUGI 剱

Mini Batch Deposition Equipment Advanced TSURUGI 剱

小批量沉积设备先进的 TSURUGI 剱

Advanced TSURUGI剱是一种热处理平台，能够在结构日益精细和复杂的下一代器件上实现高难度沉积和高生产率。它可以通过使用新的反应器提供高质量的处理，在3D堆叠器件上实现高难度的沉积。

小批量沉积设备 TSURUGI-C²® 剱®

Mini Batch Deposition Equipment TSURUGI-C²® 剱®

小批量沉积设备 TSURUGI-C²® 剱®

TSURUGI-C²®剱®是一种热处理平台，能够在下一代设备上实现高难度沉积和高生产率。它配备了晶圆反应器和其他沉积技术，以实现高质量的处理。

大批量沉积设备 AdvancedAce®-II

Large Batch Deposition Equipment AdvancedAce®-II

大批量沉积设备 AdvancedAce®-II

AdvancedAce ® -II是国际电机最新的300mm晶圆批量热处理平台。 AdvancedAce ® -II 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高产量。

大批量沉积设备 QUIXACE®-II

Large Batch Deposition Equipment QUIXACE®-II

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半导体工艺设备

薄膜沉积与PVD系统

快速热处理与CVD/ALD系统

铁电与压电测试系统

半导体涂胶显影与晶圆处理设备

激光光谱与光子学系统

光刻、太阳模拟与计量设备

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晶圆检测、晶体生长与等离子工艺设备

低温、磁学与材料表征系统

薄膜沉积、PVD/ALD 与真空系统

光刻、无掩模直写与曝光系统

扫描探针、低温显微与磁测量系统

开尔文探针、表面电势与光电子系统

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薄膜沉积与真空工艺系统

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半导体检测量测设备

半导体沉积与热处理设备

半导体耗材

大批量沉积设备 QUIXACE®-II

QUIXACEI®-II是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACEI®-II 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高产量。

大批量沉积设备 VERTRON® Revolution

Large Batch Deposition Equipment VERTRON® Revolution

大批量沉积设备 VERTRON® Revolution

“VERTRON® Revolution”是我们经过验证的 VERTRON® 系列 200 毫米批量热处理系统中的最新产品。客户可以从多种型号中进行选择，以满足他们的需求——从多品种小批量生产到大规模生产。它还与 150 毫米或更小的晶圆兼容。

大批量 EPI 沉积设备 QUIXACE®-LV

Large Batch EPI Deposition Equipment QUIXACE®-LV

大批量 EPI 沉积设备 QUIXACE®-LV

QUIXACEI ® -LV 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 QUIXACEI ® -LV 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高产量。晶圆装载区的真空负载锁结构大大减少了原生氧化膜和污染，使更高质量的沉积成为可能。

大批量沉积设备 AdvancedAce®-300

Large Batch Deposition Equipment AdvancedAce®-300

大批量沉积设备 AdvancedAce®-300

AdvancedAce®-300是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 AdvancedAce®-300 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高吞吐量。

大批量沉积设备 QUIXACE®

Large Batch Deposition Equipment QUIXACE®

大批量沉积设备 QUIXACE®

QUIXACE ® 是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。

大批量沉积设备 QUIXACE ULTIMATE®

Large Batch Deposition Equipment QUIXACE ULTIMATE®

大批量沉积设备 QUIXACE ULTIMATE®

QUIXACE ULTIMATE ® 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ULTIMATE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。

大批量处理设备AdvancedAce®-II

Large Batch Treatment Equipment AdvancedAce®-II

大批量处理设备AdvancedAce®-II

AdvancedAce ® -II是国际电机最新的300mm晶圆批量热处理平台。 AdvancedAce ® -II 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高产量。

大批量处理设备 QUIXACE®-II

Large Batch Treatment Equipment QUIXACE®-II

大批量处理设备 QUIXACE®-II

QUIXACEI®-II是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACEI®-II 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高吞吐量。

大批量处理设备 VERTRON® Revolution

Large Batch Treatment Equipment VERTRON® Revolution

大批量处理设备 VERTRON® Revolution

退火（低温、高温和超高温）