PrimaScan R&D 系统是 PrimaScan 自动晶圆缺陷和污染检测系统的独立手动加载版本，专为研发和实验室环境而设计。

产品概述

PrimaScan 研发系统比大批量生产的对应工具提供更小的光斑尺寸和更高的像素分辨率。样品处理选项的灵活性与多个传感通道和更高分辨率的成像相结合，使其成为研发和实验室环境的理想工具。与 PrimaScan 系列中的其他工具类似，PrimaScan R&D 系统可以对各种不透明和透明/半透明基材以及适合研发或实验室环境的样品上的纳米尺寸缺陷进行可靠的检查。该系统可以检测、测量、表征和成像表面颗粒、划痕、凹坑、凸块、表面污染、薄膜或体晶圆应力、空隙/夹杂物，包括晶圆边缘的碎片和裂纹。

PrimaScan 研发系统在设计时考虑到了多功能性，可以处理各种晶圆尺寸和基材类型，包括胶片框架、光掩模和样品托盘。

应用领域

不透明或透明晶圆来料质量 (ICQ) 检验

过程监控晶圆颗粒和污染检查

无图案毯式光刻胶、电介质或金属涂层晶圆缺陷检测

透明和半透明薄膜和基材的次表面缺陷检测

微流体、AR/VR/MR 微透镜阵列、平面光学等的玻璃晶圆缺陷和污染检测。

CMP 后或研磨后缺陷检查

特色市场

先进封装

裸晶圆和面板制造

CMOS技术

专业

工业

PrimaScan™ 系统