PrimaScan 晶圆缺陷检测系统以最低的每次拥有成本提供灵活、高灵敏度的解决方案。

产品概述

PrimaScan 系统利用激光散射测量和成像技术，利用专有的光学和传感技术，可靠地检查适合研发或大批量制造环境的各种不透明和透明/半透明基材上的纳米尺寸缺陷。通过多个检测通道，该系统可以检测、测量、表征和成像表面颗粒、划痕、凹坑、凸块、表面污染、薄膜或体晶圆应力、空隙/夹杂物，包括晶圆边缘的碎片和裂纹。

PrimaScan 系统解决了传入晶圆质量控制和在线工艺监控方面的挑战。它能够处理多种基板材料，独特地解决了基于晶圆的生产环境中的在线工艺缺陷和污染监控问题。

PrimaScan 系统在设计时考虑到了多功能性，可以处理各种晶圆尺寸和基板类型

应用领域

不透明或透明晶圆来料质量 (ICQ) 检验

过程监控晶圆颗粒和污染检查

无图案毯式光刻胶、电介质或金属涂层晶圆缺陷检测

透明和半透明薄膜和基材的次表面缺陷检测

先进封装的玻璃载体晶圆缺陷和污染检测

微流体、AR/VR/MR 微透镜阵列、平面光学等的玻璃晶圆缺陷和污染检测。

特色市场

先进封装

裸晶圆和面板制造

CMOS技术

专业

工业