NovusEdge G2 系统利用模块化配置，为 300mm 无图案晶圆提供快速、可靠的边缘、凹口和背面检测。

产品概述

NovusEdge G2 系统为当前和先进节点的未图案化晶圆的边缘和背面提供高灵敏度检测。同一自动化平台上的可配置模块可提高吞吐量，同时保持较小的占地面积，从而降低拥有成本。自动化平台和检测模块的边缘抓取处理解决方案可提供制造所需的清洁度。可以添加可选的高灵敏度缺口检测。缺陷在运行时自动分类和分类，以减少人工审查。

该系统设计为多功能检测和分类系统，用于 300mm 无图案晶圆的生产线末端出厂质量检测，根据配方对晶圆进行识别、检测和分类。

NovusEdge G2 系统比上一代系统具有更高的灵敏度、亚微米级分辨率，吞吐量提高了 15% 以上。用户交互得到简化，新的电气设计消耗更少的电量。

应用领域

过程中未图案化晶圆分类（分级）

来料晶圆检查

工具鉴定和监控

特色市场

裸晶圆和面板制造

CMOS技术

裸晶圆之谜：检查先进节点中的背面、边缘和凹口缺陷

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