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FC-821L
紧凑型半螺距一浴批量清洗系统
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湿站
紧凑型半螺距一浴批量清洗系统
1. 这些系统可实现晶圆的半间距传送。浴槽的尺寸已减小，以最大程度地减少化学品和去离子水的使用量。
2. CHB化学循环槽甚至可以使用高温和高浓度的化学物质进行处理。 FC-821L 支持多种清洁工艺。
3. 这些系统具有一浴处理功能，可在一个浴中同时进行化学和去离子水清洗工艺，并始终保持精细图案内部分段的饱和度，以确保高效清洗。由于晶圆在清洁过程中从不与大气接触，因此原生氧化膜也被最小化。由于在一个槽中可以使用五种化学品，因此该系统可以灵活地适应各种清洁工艺。
4. FC-821L配备低压干燥器，完全消除水印的产生。
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