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RE-3500
椭圆偏振膜厚测量系统
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椭圆偏振膜厚测量系统
支持物联网电子设备的测量设备
1. 微观区域的高精度测量
RE-3500 通过使用微点光学器件，可对 40 μm 见方的微小区域进行高精度测量。
2. 高通量
RE-3500 采用新开发的光学头，吞吐量是之前型号的两倍。
3. 光谱椭偏仪
使用 RE-3500，可以同时测量薄膜厚度和光学常数。该装置不仅适用于控制薄膜厚度，还适用于薄膜质量至关重要的工艺，以及开发新的薄膜材料和薄膜制作过程。
4.单波长椭偏仪（可选）
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