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LA-3100
为提高最先进设备的特性做出了重大贡献
科桥实验提供 SCREEN Semiconductor Solutions LA-3100 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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闪光灯退火炉
为提高最先进设备的特性做出了重大贡献
1. 以毫秒为单位控制加热温度曲线
2、低氧气氛
单晶片加工可以在严格控制的低氧气氛中进行退火。
3. 热照射时测量晶圆温度的功能
LA-3100 具有新功能，可以在几毫秒内精确控制整个晶圆表面的热处理，同时测量热辐射期间的晶圆温度。这使得从研发阶段开始就可以轻松理解和解决以温度控制为重点的物理现象。
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