DR-8000

Name: DR-8000
Brand: SCREEN Semiconductor Solutions
SKU: https://www.screen.co.jp/spe/en/products/dr-8000
Availability: InStock

自动尺寸测量系统

品牌: SCREEN Semiconductor Solutions产地: 日本价格: 面议服务区域: 全国

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自动尺寸测量系统

一体化光掩模质量控制工具

特征

一体化光掩模质量控制工具光掩模是用于转移电路图案的原版，因此光掩模的质量极大地影响最终产品的质量。 DR-8000 能够以纳米级的高精度和可重复性测量复杂电路图案的线宽或关键尺寸 (CD)。除了CD测量功能外，DR-8000还可以配备测量透射率和相移（这两个是复杂电路图案的关键参数）的功能，以及在曝光期间观察航拍图像的功能，这对于光掩模开发和质量保证至关重要。