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FC-3100
下一代多功能性、速度和功能
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湿站
下一代多功能性、速度和功能
1. 高通量
FC-3100能够实现每小时1,000片晶圆的高吞吐量，这是通过结合高吞吐量缓冲模块和高速传输模块来实现的。
2.稳定、高可靠
七个独立的模块可以轻松配置，以最适合您的生产需求。每个模块均采用标准化结构。双清洗槽内置于单个紧凑模块中，以便更顺畅地组装、调整、测试和安装。
3.低压干燥系统（HiLPD）
FC-3100配备低压干燥系统HiLPD，无需使用载气N2即可提供高浓度IPA蒸汽，从而大大抑制水印的产生。此外，高浓度 IPA 蒸气可迅速降低表面张力，防止图案塌陷。
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