紧凑型湿站

占地面积减半，生产率提高 1.5 倍！性价比极佳！

1. 一体化概念

CW-2000 上的化学品供应和冷却装置集成到系统中以减少占地面积。 CW-2000 所需的空间比我们之前的型号少 45%。

2. 应对各种晶圆加工

单个 CW-2000 系统可以处理各种尺寸的晶圆，从 50 毫米到 200 毫米。

3. 配备新型干燥装置

除了之前的 DIS（排水和 IPA 替代）干燥装置之外，新产品系列还包括不使用 IPA 的环保热风干燥系统 (HBD)。客户可以自由选择适合其使用条件的单位。

4、灵活扩展

CW-2000 可扩展为包括四个、六个或八个处理槽，以匹配您的生产力和可用于安装的空间。

5. 更高的生产力

CW-2000 的生产速度达到 150 WPH，生产率是我们之前型号的 1.5 倍。

6.支持RCA清洗

CW-2000还支持RCA清洗，这已成为半导体主流清洗方式，有效提高良率。