产品信息 scia Finish 1500 用于高精度光学元件的表面形状误差校正。由于离子束源的抽气时间快和去除率高，该系统适合 24/7 运行的大批量生产。 特点和优点 长期稳定的工艺确保光学元件的可重复质量 大面积上具有出色的精度 高去除率带来高吞吐量 滑动门可轻松装载大型基材 专为大批量生产而设计，

高能光参量放大器

产品信息 scia Coat 200 在长达 200 毫米的基材上具有出色的涂层均匀性。通过使用离子束溅射沉积代替其他沉积工艺，可以获得光滑且无缺陷的薄膜。原位光学监控确保卓越的工艺稳定性。此外，该系统还能够处理晶圆以及任意形状的基板。

下一代光学参量放大器

产品信息 scia Coat 500 用于精密光学器件大型基材的均匀涂层。配方控制的沉积工艺可实现多层堆叠的可重复质量。因此，可更换的成形器系统（最多 4 个成形器）可补偿参数和/或材料相关的不均匀性效应，并能够沉积限定的梯度薄膜。

宽带 MIR 光学参量放大器

产品信息 scia Batch 350 专为 3 维形状基材的生物相容性涂层而设计。因此，载体概念能够在一批中实现不同的基板尺寸和形状。凭借其稳定、可重复且经过认证的流程，该系统满足医疗物体处理的高质量标准。