产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 300毫米沉积 多室溅射系统 ENTRONTM-EX2 W300 是可以结合各种工艺的最新平台。具有可扩展性的高端机型，可满足客户下一代高吞吐量、节能等需求。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 量产300mm溅射 Entron-EX 多室溅射系统专为 300mm 半导体市场而设计。该系统配备了最新的处理室，可进行先进的 300mm 处理。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 多层辊涂 SPW系列辊涂机能够在塑料薄膜上溅射光学薄膜、金属和多层薄膜。该系列工具具有独立的室，用于批量处理高功能多层薄膜。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 低温溅射 SME系统有多种核心类型可供选择；方形、六角形或八角形。这允许用户配置从研发到大批量生产的系统。此外，客户可以配置带有各种加热器和阴极的工艺室，以确保满足其工艺需求。

ULVAC SMV-500F 面向薄膜沉积、外延与真空镀膜场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

ULVAC SRH Series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

ULVAC ULDiS Series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。