产品信息

scia Batch 350 专为 3 维形状基材的生物相容性涂层而设计。因此，载体概念能够在一批中实现不同的基板尺寸和形状。凭借其稳定、可重复且经过认证的流程，该系统满足医疗物体处理的高质量标准。

特点和优点

由于载体负载而批量涂覆不同尺寸和数量的基材

两个独立的射频电极可实现高通量

通过每个基材的单独旋转实现均匀的“全方位涂层”

在机械变形过程中也具有卓越的阻隔性能和完全粘合的薄膜

加热、等离子预处理和 PECVD 涂层相结合

灵活的气体和射频条件

应用领域

血管介入支架，PRO-Kinetic Energy © BIOTRONIK

用于医疗植入物（起搏器、支架）的生物相容性薄膜的 3 维屏障涂层

原则

RF 平行板排列，每个基板旋转，以实现所有侧面的均匀涂层

等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 是一种等离子体辅助反应工艺，可在基材上将薄膜从气态（蒸气）沉积为固态。

详细信息

基材尺寸

单个尺寸可装载在 2 个托架上，托架尺寸最大为 350 毫米 x 240 毫米

基材载体

水冷、脉冲直流偏置（2 kV，400 mA）

等离子源

RF 平行板排列，13.56 MHz

电源

最大射频功率2 个 600 瓦

电极设置

温度：加热至400℃；距离：50 毫米至 150 毫米之间可调

操作模式

独立或耦合电极

基础压力