产品信息

scia Finish 1500 用于高精度光学元件的表面形状误差校正。由于离子束源的抽气时间快和去除率高，该系统适合 24/7 运行的大批量生产。

特点和优点

长期稳定的工艺确保光学元件的可重复质量

大面积上具有出色的精度

高去除率带来高吞吐量

滑动门可轻松装载大型基材

专为大批量生产而设计，抽气时间短

应用领域

超过 1500 mm 的镜子离子束成形的模拟结果（左前、右后）。标准差：前：256 nm，后：1.9 nm；范围：前：1550 nm，后：85 nm

透镜和反射镜的最终表面形状误差校正 望远镜反射镜（Zerodur®、SiC、LTEM）传统光学器件（石英和其他玻璃）X 射线光学器件 (Si) 的离子束成形

望远镜镜（Zerodur®、SiC、LTEM）

常规光学器件（石英和其他玻璃）

X 射线光学 (Si) 的离子束成像

应用说明

X 射线镜的形状误差校正

原则

聚焦宽离子束在垂直设置中扫描整个基板表面，以实现低污染

停留时间控制以去除不同量的材料

离子束成形 (IBF) 是通过扫描离子束和停留时间控制进行的抛光误差校正。

详细信息

基材尺寸（最大）

直径 1500 毫米，400 公斤

轴性能

最大限度。最大速度 0.15 m/s加速度 15 m/s²

离子束源

37 mm 圆形射频源 (RF37-i)，带 8 ... 15 mm (FWHM) 或 120 mm 圆形射频源 (RF120-i)，带 16 ... 36 mm (FWHM)，可选第二个离子束源

中和剂

射频等离子桥中和器 (N-RF)