产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 终极可配置性 ULVAC 推出了 uGmni 系列，这是一个集沉积和蚀刻设备于一体的集群系统，使我们的客户能够在同一传输核心上配备各种不同的工艺模块，包括溅射、蚀刻等。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 量产溅射 Load-Lock 型滚筒旋转 EMI 屏蔽溅射系统。交货记录大，用于批量生产。该设备用于在生产过程中以低温工艺沉积各种频段的EMI屏蔽（电磁干扰屏蔽）。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 在线面板溅射 SIV 在线系统适用于在最大 1,000mm x 1,000mm 的基材上进行 PVD。用于将 LCO、LPO 和 ITO 沉积到面板上的出色工具。系统最大基板尺寸可达 500 毫米。

ULVAC CS-200 面向半导体工艺验证、产线补线与设备流通场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。