产品信息

蚀刻

蒸发

离子注入机

等离子灰化

PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm

集群系统

辊涂机

在线系统

300毫米

真空炉

ENTRON-EXX 是一个多功能、多室平台，旨在支持各种尖端产品的生产，包括半导体逻辑、存储器（DRAM、NAND、下一代非易失性存储器）和封装。通过集成各种工艺模块，如 PVD、预清洗、加热、冷却以及增强的数据收集和分析功能，ENTRON-EXX 为客户提供了优化的开发和批量生产环境。

ENTRON-EXX 专为下一代半导体创新而打造，是一款尖端的多室沉积平台，可提高生产力、灵活性和智能性。通过单机或串联配置，它可以最大化工厂空间并提高每平方英尺的吞吐量。其模块化架构允许您添加或交换多达 12 个 PVD、预清洗、加热或冷却模块，非常适合不断变化的工艺需求。

实时数据捕获和分析可以实现更智能的维护、提高产量和运营效率。此外，简化的插入式连接可将重新安置和设置时间缩短 50%，同时其环保设计可将待机功耗减少约 20%，并将洁净室占地面积缩小高达 10%。 ENTRON-EXX 为可扩展、可持续的溅射性能设定了标准。