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ENTRON-EX
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 量产300mm溅射 Entron-EX 多室溅射系统专为 300mm 半导体市场而设计。该系统配备了最新的处理室，可进行先进的 300mm 处理。
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蚀刻
蒸发
离子注入机
等离子灰化
PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm
集群系统
辊涂机
在线系统
300毫米
真空炉
量产300mm溅射
Entron-EX 多室溅射系统专为 300mm 半导体市场而设计。该系统配备了最新的处理室，可进行先进的 300mm 处理。
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