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ENTRON-EX2
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 300毫米沉积 多室溅射系统 ENTRONTM-EX2 W300 是可以结合各种工艺的最新平台。具有可扩展性的高端机型，可满足客户下一代高吞吐量、节能等需求。
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蚀刻
蒸发
离子注入机
等离子灰化
PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm
集群系统
辊涂机
在线系统
300毫米
真空炉
300毫米沉积
多室溅射系统 ENTRONTM-EX2 W300 是可以结合各种工艺的最新平台。具有可扩展性的高端机型，可满足客户下一代高吞吐量、节能等需求。 ULVAC将通过各种产品阵容满足客户的需求，例如采用我们独创技术的用于纳米布线的高级PVD、CVD和ALD模块。
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