IH-860

IH-860产品信息

ULVAC IH-860 可用于半导体工艺验证、产线补线与设备流通相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 Si 加工 SiC 硅加工 等离子灰化 真空炉 高温离子注入机 用于大规模生产的离子注入机，采用 SiC 高温 ESC。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。