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SME Series
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 低温溅射 SME系统有多种核心类型可供选择;方形、六角形或八角形。这允许用户配置从研发到大批量生产的系统。此外,客户可以配置带有各种加热器和阴极的工艺室,以确保满足其工艺需求。
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真空炉
低温溅射
SME系统有多种核心类型可供选择;方形、六角形或八角形。这允许用户配置从研发到大批量生产的系统。此外,客户可以配置带有各种加热器和阴极的工艺室,以确保满足其工艺需求。
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