IMX-3500

IMX-3500产品信息

ULVAC IMX-3500 可用于离子注入与掺杂工艺相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 Si 加工 SiC 硅加工 等离子灰化 真空炉 均匀离子注入 IMX-3500中电流离子注入机是一款最高能量为200 kV、晶圆尺寸为8英寸的离子注入设备，非常适合大学等机构的研发。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。