Large Batch Treatment Equipment VERTRON® Revolution
退火（低温、高温和超高温）
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氧化
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扩散
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退火（低温、高温和超高温）
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“VERTRON® Revolution”是我们经过验证的 VERTRON® 系列 200 毫米批量热处理系统中的最新产品。客户可以从多种型号中进行选择，以满足他们的需求——从多品种小批量生产到大规模生产。它还与 150 毫米或更小的晶圆兼容。
基于经过验证的 VERTRON® 平台构建，与过去的型号之间具有晶圆工艺兼容性
基于经过验证的 VERTRON® 平台构建，与过去的型号之间具有晶圆工艺兼容性
升级到新硬件，利用最新的 300mm 工具设计实现高生产率
升级到新硬件，利用最新的 300mm 工具设计实现高生产率
大批量（175 片）和小批量（100 片）（可选）
大批量（175 片）和小批量（100 片）（可选）
气氛控制可用于对氧气和湿度敏感的过程（较低的氧气和水浓度）（选项）
气氛控制可用于对氧气和湿度敏感的过程（较低的氧气和水浓度）（选项）
控制器已升级到基于最新架构的系统，提供更好的系统性能，并且未来零件供应中断的风险大大降低
控制器已升级到基于最新架构的系统，提供更好的系统性能，并且未来零件供应中断的风险大大降低
VERTRON 是国际电机株式会社的注册商标。
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