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Mini Batch Deposition Equipment TSURUGI-C²® 剱®
TSURUGI-C²®剱®是一种热处理平台，能够在下一代设备上实现高难度沉积和高生产率。它配备了晶圆反应器和其他沉积技术，以实现高质量的处理。
科桥实验提供 Kokusai Electric Mini Batch Deposition Equipment TSURUGI-C²® 剱® 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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薄膜沉积
薄膜沉积
TSURUGI-C²®剱®是一种热处理平台，能够在下一代设备上实现高难度沉积和高生产率。它配备了晶圆反应器和其他沉积技术，以实现高质量的处理。
配备紧凑的晶圆反应器ー减少负载影响并提高膜厚均匀性
配备紧凑的晶圆反应器ー减少负载影响并提高膜厚均匀性
低颗粒和高速晶圆传输自动化
低颗粒和高速晶圆传输自动化
生产率高、占地面积小
生产率高、占地面积小
TSURUGI-C² 和产品图像徽标是 KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION 的注册商标。
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