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大批量沉积设备 QUIXACE®

Large Batch Deposition Equipment QUIXACE®

QUIXACE ® 是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。

品牌: Kokusai Electric产地: 日本价格: 面议服务区域: 全国

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薄膜沉积

薄膜沉积

QUIXACE ® 是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。

实现了高生产率

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能够将保形薄膜放入深沟槽中

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实现了高精度、高质量的低温成膜

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健康检查功能(选配)

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QUIXACE 是国际电机株式会社的注册商标。

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