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Large Batch Deposition Equipment QUIXACE®
QUIXACE ® 是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。
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薄膜沉积
薄膜沉积
QUIXACE ® 是KOKUSAI ELECTRIC最新的300mm晶圆批量热处理平台。 QUIXACE ® 通过利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术来提供高吞吐量。
实现了高生产率
实现了高生产率
能够将保形薄膜放入深沟槽中
能够将保形薄膜放入深沟槽中
实现了高精度、高质量的低温成膜
实现了高精度、高质量的低温成膜
健康检查功能（选配）
健康检查功能（选配）
QUIXACE 是国际电机株式会社的注册商标。
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