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Large Batch EPI Deposition Equipment QUIXACE®-LV
QUIXACEI ® -LV 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 QUIXACEI ® -LV 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高产量。晶圆装载区的真空负载锁结构大大减少了原生氧化膜和污染，使更高质量的沉积成为可能。
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薄膜沉积
薄膜沉积
QUIXACEI ® -LV 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 QUIXACEI ® -LV 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高吞吐量。晶圆装载区的真空负载锁结构大大减少了原生氧化膜和污染，使更高质量的沉积成为可能。
实现高生产率：一次性处理大批量提高 1.25 倍（*）（* 与以前的型号相比）
实现高生产率：一次性处理大批量提高 1.25 倍（*）（* 与以前的型号相比）
能够将保形薄膜放入深沟槽中
能够将保形薄膜放入深沟槽中
实现了高精度、高质量的低温成膜
实现了高精度、高质量的低温成膜
晶圆装载区采用真空装载锁定结构
晶圆装载区采用真空装载锁定结构
健康检查功能（选配）
健康检查功能（选配）
QUIXACE 是国际电机株式会社的注册商标。
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