光伏、光刻与紫外计量

OAI 多结太阳能模拟器非常适合与多结太阳能电池和标准太阳能电池一起使用。该系统提供 350nm -1800nm AAA 级光谱匹配。灯功率范围为 300W -5000W，并且可使用各种空气质量过滤器来模拟太阳光谱。 OAI 成熟的镜头和镜子技术可实现广泛的曝光区域，并获得 AAA 级认证。该太阳模拟器采用先进的镜子和滤光片技术，可以准确聚焦和反射所需的能量，并可以将光谱输出与用户的具体要求相匹配。系统可配置为 1800nm 的连续波或单长通 (SLP)。过滤器组可用于特殊应用。

用于高效太阳能电池的 OAI 测试系统通过提供高度优化的脉冲宽度和电压扫描速率来匹配电池的介电响应速度，从而克服了闪光测试的局限性。因此，该系统可以对太阳能电池效率进行极其准确的测量，从而提高盈利能力。

OAI 的低成本标准太阳模拟器可提供高度准直、均匀的光线，对于测试几乎任何长时间或短时间暴露在阳光下的材料或产品至关重要。根据配置的不同，这些太阳能模拟器的输出额定功率为 350W-5,000W。这些 AAA 级太阳模拟器采用 OAI 的先进均匀光束光学器件，并可选择空气质量过滤器来再现各种太阳光谱。为了增加灵活性，OAI 成熟的镜头和准直镜技术允许各种曝光区域尺寸。 AAA 级太阳模拟器是制造和研发的必备工具；它在测试实验室、工业应用和大学中是不可或缺的。 OAI 标准太阳模拟器用于光生物学、生物医学、太阳能电池测试、化妆品测试以及油漆和涂料分析。 OAI 太阳模拟器系统基于 50 多年经过验证的紫外光技术，可提供可重复、可靠、恒定的输出和测量均匀性。

OAI Solar Simulators for Photochemistry & Photobiology 面向半导体工艺验证、产线补线与设备流通场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

OAI 紫外线能量计是一款紧凑型仪表，用于测量各种不同光源的输出，包括汞氙灯发出的辐照度。它是一种小型、扁平、完全集成的仪器，非常适合在固定位置以及移动传送带上使用。紫外传感器位于仪器底部，数据显示窗安装在顶部。

集群配置允许动态晶圆流和并行应用处理

OAI 很荣幸地欢迎辐射电源系统加入我们的解决方案系列。通过此次收购，我们扩大了为依赖光应用精密电源的行业提供服务的能力。 Radiation Power Systems 一直是汞灯和氙弧灯电源领域值得信赖的品牌，为半导体制造、PCB 制造、光子学等领域的全球领导者提供支持。

应客户要求，OAI 开发了用于灭菌或净化的 254nm 防水探头，并与 OAI 的 308 型手持式紫外线照度计或 656 型紫外线强度和能量计一起使用。该探头可在充满水的室外使用或浸入水中测量；因为紫外线可以穿过水。

聚光光伏（CPV）有望生产出高电池效率的太阳能电池，从而降低光伏组件的运营成本。然而，CPV 系统需要将 CPV 太阳能电池、模块和 CPV 光学器件集成到一个高效的系统中。 OAI 的重点是 CPV 电池测试方法。现在可以使用 OAI 先进的独立 CPV 模拟器进行低剂量和高剂量配置的 CPV 电池测试。低剂量 CPV 太阳模拟器可提供高达 50 个太阳的照射，而高剂量 CPV 太阳模拟器可提供高达 1500 个太阳的照射。低剂量和高剂量模拟器以 1.5cm x 1.5cm 至 7.5cm x 7.5cm 的各种光束尺寸提供不同太阳浓度下的暴露，并且可以配置 OAI 的 I-V 测试系统。

OAI 200 型掩模对准机是一款经济高效的高性能掩模对准机，采用经过行业验证的组件进行设计，使 OAI 成为光刻资本设备行业的领导者。 Model 200 是一款桌面掩模对准机，需要最小的洁净室空间。它为研发或有限规模的试生产提供了一种经济的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，可以快速、轻柔地调平基板，以便在接触曝光期间实现平行光掩模对准和晶圆上的均匀接触。该系统具有一微米的分辨率和对准精度。

OAI 30 型紫外光源（带有可选支架）由独立光源、恒定强度控制器和快门定时器组成。

OAI 为大面积市场设计和制造了 AAA、ABA 或 ACA 级太阳能模拟器，其性能、质量和可靠性与我们的其他太阳能模拟器型号相同。这些大面积太阳模拟器有多种型号。

OAI UV 30E 型增强型紫外线光源由独立的 30 型紫外线光源、恒定强度控制器、快门计时器和带旋转卡盘的拉出式抽屉组成。在泛光曝光期间旋转卡盘可提高曝光均匀性。

OAI 200IR 型掩模对准器是一种桌面系统，需要最小的洁净室空间。它是研发或有限规模试生产的经济高效的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，可以快速、轻柔地调平基板，以实现接触曝光期间平行光掩模对准和晶圆上的均匀接触。 200IR 型掩模对准器具有一微米的分辨率和对准精度。它具有一个对准模块，该模块具有掩模插入套件和快速更换晶圆卡盘，可以使用各种基板和掩模，而无需重新配置工具。对准模块包含 X、Y 和 Z 轴千分尺。

OAI 200E DUV Mask Aligner 面向光刻、曝光与图形化场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

对于高性能太空应用，OAI 提供 0.25 准直角太阳模拟器。它采用基于 OAI 47 年光工作经验的技术进行设计。功能包括 100mmx100mm 光束尺寸、长透镜外壳、高达 1800 nm 的 AM 1.5 G 和 AMO 光谱或任何自定义光谱，以及高达 1.25 SUNS 的强度控制。这些太阳模拟器采用 OAI 的精度、质量和可靠性制造。

OAI Model 30L Large Area UV Light Source 面向半导体工艺验证、产线补线与设备流通场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

该 UV LED 光源由 OAI 久经考验的光刻专家设计和制造。该光源具有许多独特的优点，其中最重要的是在极长的使用寿命内保持一致的强度。该光源能源效率高，无需维护或更换光源，并且不含汞。

适用于大面积基板的低成本桌面掩模对准器

OAI 800E 型正面和背面半自动掩模对准器系统提供了昂贵的自动化生产掩模对准器中最常见的先进功能和规格。随着这款掩模对准机的开发，OAI 通过专为研发和小批量生产而设计的新型掩模对准机来应对动态半导体和 MEMS 市场日益增长的挑战。

OAI 2000 型曝光系统可配置为边缘珠曝光系统 (2000SM) 或泛光曝光系统 (2000AF)；两种配置均基于 OAI 经过时间考验的平台。

OAI 集成 I-V 测试系统非常适合研发和生产，OAI 集成 I-V 测试系统可提供极其准确的太阳能电池性能测量。 OAI 先进的全集成 I-V 测试系统旨在通过提供高度优化的脉冲宽度和电压扫描速率来克服闪光测试的局限性，以匹配任何类型太阳能电池的高电容和慢介电响应速度。因此，该系统可以对太阳能电池 I-V 参数和效率进行极其准确的测量，同时获得最准确的测试结果。

2012AF 型洪水暴露系统为自动洪水暴露提供了一种经济高效的方法。

OAI 在半导体行业拥有超过 50 年的制造经验，凭借一流的生产光刻设备应对充满活力的市场日益增长的挑战。 6000 型建立在经过验证的 OAI 模块化平台之上，具有完全自动化的正面和背面对准，具有亚微米印刷功能以及亚微米从上到下的正面对准精度，可提供任何价格都无法比拟的性能。

OAI 提供全系列的高性能 I-V 测试仪。 I-V 测试仪和 I-V Rider 软件可以作为独立系统订购，也可以集成到任何 OAI 太阳能模拟器中。 I-V 测试仪提供三种标准范围：≤1A、1-5A、5-10A 和 20A。更高电流的测试仪可作为定制选项提供。 OAI 应用工程师将与您合作，确保您选择的 I-V 测试仪和 I-V Rider 软件针对您的特定应用进行优化。

带有集成掩模更换器的自动掩模对准器

大型基材曝光系统专为需要大型玻璃面板曝光的市场而设计。该系统采用 OAI 先进的光束光学器件，采用光束尺寸为 12in² 至 20in² 的 UV 光源，同时施加 1kW 至 8kW 的灯功率。这提供了 ±10% 的均匀光束。该系统可实现≤2.0μ的打印分辨率。该系统可以处理从薄到厚的各种基材厚度以及粘合面板。 OAI 的大型基材曝光系统是大面积玻璃面板曝光的性能、可靠性和可重复性的整体解决方案。

OAI单长脉冲太阳能模拟器和I-V测试系统专为高效太阳能电池而设计。该测试系统通过提供高度优化的脉冲宽度和电压扫描速率来匹配电池的电介质响应速度，从而克服了闪光测试的局限性。因此，该系统可以对太阳能电池效率进行极其精确的测量，从而实现更准确的分档并提高盈利能力。

OAI 308 型紫外光计可靠且可重复，是一款精确的直读仪器，设计用于测量紫外光强度。 308 型具有适用于 UVA、UVB 和 UVC 系列的可拆卸探头，以及高速串行端口，并配有可选软件包，可促进强度模式、时间、波长、序列号和校准到期日的即时数据记录。

OAI 308T 型紫外线照度计专为高强度应用而设计，是一款可靠的直读仪器，设计用于测量紫外线固化的紫外线光强度。 308T 型配备可用于 UVA、UVB 和 UVC 系列的可拆卸探头，以及高速串行端口。仪表精度在 ±3% 以内，测量重复性在 ±3 LSB（最低有效位）以内。与所有 OAI 精密仪器一样，308T 型提供 NIST 可追溯测量。当与 2000mW/cm2 探头一起使用时，这款易于使用的仪表可在 0.1 至 1999.9mW/cm2 满量程之间自动调整范围。仪表在此范围内的线性度至少为 ±.002%-6 LSB。

50 多年来，OAI 一直是紫外光和能量测量仪器领域的世界领先者，这些仪器用于对半导体、MEMS、晶圆封装和晶圆凸点行业的光刻工艺进行可靠、精确的校准控制。 659 型是一款先进的紫外线曝光分析仪，专门设计用于所有晶圆步进机，包括高强度晶圆步进机。该仪表可平均测量多达 400 个曝光读数，具有以太网和 USB 接口用于下载记录的测量结果，强度范围高达 7,500mW/cm2。探头的波长有 365nm、400nm、420nm 和 436nm。 OAI 拥有完整的、经过认证的校准实验室，以保持我们仪表的性能、质量和可靠性。 659 型仪表可追溯至 NIST 标准。

Hiresta UX 是一款高性能仪表，用于测量各种非导电材料的表面电阻率和体积电阻率。该仪表具有 103-1014Ω 的扩展测量范围，非常适合生产、工程、研发和质量控制。 Hiresta UX 具有强大的算法，可以自动选择正确的电压，从而优化表面和体积电阻率测试。这款多功能、高性能电阻率计包括一个内置开关盒，可以选配 J-Box（符合表面电阻率和体积电阻率的 JIS K 6911 并与 ASTM D257 兼容）。 Hiresta UX 可以存储多达 2,000 个测量结果，并且可以轻松导出到 USB 存储设备。

Loresta FX 电阻率计是一种手持式装置，能够以一致的精度测量样品的低电阻率。该电阻率计使用各种探头测量电阻率。 Loresta FX 使用标准 RCF，用户可以输入其他已知的 RCF。它通常用于产品工程和质量控制。

Loresta GX II 仪表是一款智能、多用途低电阻率仪表，配有计算电阻率修正系数的软件。多种 4 针探头可与 Loresta GX II 配合使用。该仪器通常用于产品工程、研发和质量控制。

晶圆键合在 MST、MEMS 和微工程领域有许多应用。其中包括压力传感器、加速度计、微型泵和其他流体处理设备的制造。该工艺还用于硅微结构的一阶封装，以隔离封装引起的应力。 OAI AML 晶圆键合机有助于在高真空室内原位进行对准和键合。对于阳极键合，晶圆被冷加载并在处理室中加热。为了实现高精度对准，只有在达到工艺温度后才将晶圆对准并接触，从而避免了可能损害对准的差异热膨胀效应。 AML 晶圆键合机非常适合阳极键合、硅直接键合和热压键合应用。这些功能使得粘合机几乎可以与任何加工工具一起使用。

OAI UV Ozone Surface Treatment Plus 面向半导体工艺验证、产线补线与设备流通场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

Hiresta UX 电阻率计 Hiresta UX 是一款高性能仪表，用于测量各种非导电材料的表面电阻率和体积电阻率。

OAI 的闪光太阳能功率计是一种多功能测量工具，用于测量闪光太阳能模拟器的辐照度（以太阳为单位）。闪光太阳能模拟器通常用于太阳能电池板的生产。该仪表集成到太阳能电池生产线中，可校准闪光太阳能模拟器，从而实现恒定且可重复的辐照度输出。通过以高达 4000Hz 的速度进行采样，可以将闪光脉冲时间曲线记录在仪表的内存中，并下载到 PC 上的 USB 2.0 端口以进行进一步分析。

OAI 连续波太阳能功率计是测量连续波太阳能模拟器辐照度（以太阳为单位）的重要分析工具。 OAI 的太阳能电表具有其他太阳能电表所没有的独特功能。这款多功能仪表可以显示各种电池特性，包括：电池类型、窗口类型、电池尺寸和温度测量设备类型。 OAI连续波太阳能功率计可以采样并显示连续读数或峰值读数。功率计通过 USB 端口连接以收集数据，并包含桌面软件。借助这款小型便携式电池供电仪表，可以在短时间内测试和比较大量生产的太阳能模拟器，从而提高生产线的一致性和吞吐量。

紫外线强度和能量计 457 型紫外线光强度和能量系统设计用于与 ASML、佳能、尼康和 GCA & Rudolph Technology 晶圆步进机配合使用，可准确分析曝光能量（剂量）以评估步进机的性能。它可读取 400 和 420 nm 波长的强度、能量和时间（16-1600 mW/cm²、999.9 mJ/cm²）。可选 RS232 电缆可与 457 软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

用于接触式掩模对准器的 356 型光刻紫外线强度和能量计是一款基于微处理器的监视器，允许存储和调用从曝光系列（400 mW/cm2、9999 mJ/cm2、最多 9999 秒）收集的多个曝光参数（强度、能量和时间），它计算百分比偏差并平均能量。适用于 220、254、260、310、365、380、400、420、436 和 540 nm 波长。也可提供其他波长。