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适用于大面积基板的低成本桌面掩模对准器

为了满足行业对用于较大基板（最大 12 英寸 x 12 英寸或 300 毫米直径）的低成本研发掩模对准器的需求，OAI 开发了 212 型桌面掩模对准器。该掩模对准机基于 OAI 经过验证的模块化方法，利用了 OAI 在 200 型台式掩模对准机方面的丰富经验。示例性的 OAI Model 200 掩模对准器是一款入门级工具，安装在全球研发实验室中。

212 型掩模对准器设计用于容纳 12 英寸 x 12 英寸或 300 毫米基板以及更小尺寸的掩模插件和基板支架，从而增加了工具的多功能性。 212 型对于研发实验室特别有用，并很快获得了全球实验室的认可。凭借我们的模块化设计方法，OAI 以最低的总拥有成本提供最高质量的精密掩模对准机。 212 型掩模对准器填补了那些需要多功能、经济高效的 300mm 掩模对准器系统进行研发的研究人员的空白。