型号 200IR 台式正面和背面掩模对准器

产品信息

OAI 200IR 型掩模对准器是一种桌面系统，需要最小的洁净室空间。它是研发或有限规模试生产的经济高效的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，可以快速、轻柔地调平基板，以实现接触曝光期间平行光掩模对准和晶圆上的均匀接触。 200IR 型掩模对准器具有一微米的分辨率和对准精度。它具有一个对准模块，该模块具有掩模插入套件和快速更换晶圆卡盘，可以使用各种基板和掩模，而无需重新配置工具。对准模块包含 X、Y 和 Z 轴千分尺。

该掩模对准机具有可靠的 OAI 光源，可使用功率范围为 200W 至 2000W 的灯提供近紫外或深紫外准直紫外光。双传感器光学反馈回路与恒定强度控制器相连，可将曝光强度控制在所需强度的 ±2% 范围内。可以快速、轻松地改变紫外线波长。 200IR 型掩模对准器是一种灵活、经济的解决方案，适用于 MEMS、微流体和 NIL 的任何入门级掩模对准和紫外线曝光应用。