产品信息

该 UV LED 光源由 OAI 久经考验的光刻专家设计和制造。该光源具有许多独特的优点，其中最重要的是在极长的使用寿命内保持一致的强度。该光源能源效率高，无需维护或更换光源，并且不含汞。

OAI UV LED 光源可提供 4 英寸至 12 英寸的光束尺寸，光束均匀度优于 ±4%。它具有棱镜阵列和光管，可实现卓越的均匀性。准直角小于2度。该光源具有可变强度，波长为 365nm、405nm 或其组合。其他功能包括剂量控制和定时曝光。 OAI光源使用方便，采用触摸屏界面，并具有USB远程接口。

UV 光源提供多种选项，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模块以及单波长或多波长版本。该系统可以集成到任何 OAI 光刻系统中。