Model 2012AF & 2012SM Exposure Systems
2012AF 型洪水暴露系统为自动洪水暴露提供了一种经济高效的方法。
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2012SM 型自动边缘珠曝光系统提供了一种使用标准荫罩技术去除边缘珠的经济有效的方法。
两种型号都可以快速高效地更换掩模和基板，从而增加了该生产工具的多功能性和高产量。此外，它们设计用于容纳 8 英寸至 300 毫米的晶圆，并且该工具具有自动 FOUP 装载功能。
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