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Model 457 Meter
紫外线强度和能量计 457 型紫外线光强度和能量系统设计用于与 ASML、佳能、尼康和 GCA & Rudolph Technology 晶圆步进机配合使用,可准确分析曝光能量(剂量)以评估步进机的性能。它可读取 400 和 420 nm 波长的强度、能量和时间(16-1600 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)。可选 RS232 电缆可与 457 软件配合使用,将剂量数据发送到计算机。
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紫外线强度和能量计 457 型紫外线光强度和能量系统设计用于与 ASML、佳能、尼康和 GCA & Rudolph Technology 晶圆步进机配合使用,可准确分析曝光能量(剂量)以评估步进机的性能。它可读取 400 和 420 nm 波长的强度、能量和时间(16-1600 mW/cm²、999.9 mJ/cm²)。可选 RS232 电缆可与 457 软件配合使用,将剂量数据发送到计算机。
应用 457 型专为需要可重复、可靠的 UV 测量的任何应用而设计,非常适合需要精确测量 UV 能量的各种行业。
硬件特性 • 平均多达 9 次曝光 • 数字显示屏提供清晰、NIST 可追溯的测量结果 • 测量强度、时间和能量 • 记录一系列曝光的偏差百分比 • 探头波长显示有助于防止设置错误 • 简单的按钮操作提供可靠的结果 • RS 232 输出用于下载和记录分析仪测量结果 • 可拆卸探头以匹配许多光刻胶的光谱响应 • 可以冻结显示读数 • 前面板提醒提示用户 •坚固的铝制外壳配有手柄和探头袋,便于携带
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