200 型台式掩模对准器

产品信息

OAI 200 型掩模对准机是一款经济高效的高性能掩模对准机，采用经过行业验证的组件进行设计，使 OAI 成为光刻资本设备行业的领导者。 Model 200 是一款桌面掩模对准机，需要最小的洁净室空间。它为研发或有限规模的试生产提供了一种经济的替代方案。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，可以快速、轻柔地调平基板，以便在接触曝光期间实现平行光掩模对准和晶圆上的均匀接触。该系统具有一微米的分辨率和对准精度。

对准模块具有掩模插入套件和快速更换晶圆卡盘，方便使用各种基板和掩模，无需特殊工具即可重新配置。对准模块包含 X、Y 和 Z 轴千分尺。

200 型掩模对准器具有可靠的 OAI UV 光源，可使用功率范围为 200W 至 2000W 的灯提供近紫外或深紫外准直紫外光。双传感器光学反馈回路与恒定强度控制器相连，可将曝光强度控制在所需强度的 ±2% 范围内。该掩模对准器是一种灵活、经济的解决方案，适用于任何入门级掩模对准和紫外线曝光应用，并且还可配备 LED 光源。