200E DUV光罩对准机

200E DUV光罩对准机产品信息

OAI 200E DUV Mask Aligner 可用于光刻、曝光与图形化相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 Extreme DUV 掩模对准器 170nm-200nm OAI 的 200E 型 DUV 掩模对准器可执行台式 200 型掩模对准器的所有功能，但使用 185nm 准分子灯作为 UV 光源。它用于生物技术加工。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。