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SIV Series
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 在线面板溅射 SIV 在线系统适用于在最大 1,000mm x 1,000mm 的基材上进行 PVD。用于将 LCO、LPO 和 ITO 沉积到面板上的出色工具。系统最大基板尺寸可达 500 毫米。
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蚀刻
蒸发
离子注入机
等离子灰化
PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm
集群系统
辊涂机
在线系统
300毫米
真空炉
在线面板溅射
SIV 在线系统适用于在最大 1,000mm x 1,000mm 的基材上进行 PVD。用于将 LCO、LPO 和 ITO 沉积到面板上的出色工具。系统最大基板尺寸可达 500 毫米。可加装储料室，实现系统自动运行。
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