VPO-300 是自动垂直开闭式真空处理炉，官网列出适用于最高 300 x 300 mm 基片尺寸，温度最高 1000°C。

Canon FPA-6300ES6a 面向光刻、曝光与图形化场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

Canon FPA-6300ESW 面向光刻、曝光与图形化场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

Canon FPA-3030EX6 面向光刻、曝光与图形化场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。