Canon FPA-5520iV 先进封装 i 线步进式光刻机产品信息

Canon FPA-5520iV 可用于光刻、曝光与图形化相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 FPA-5520iV 面向先进封装和 FOWLP 应用。 官网列出 FPA-5520iV、HR Option、LF Option 和 LF2 Option 等配置。 该设备使用 i 线 365 nm 曝光波长，支持 300 mm 晶圆。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。