Canon FPA-6300ESW 宽视场 KrF 扫描式光刻机产品信息

Canon FPA-6300ESW 可用于光刻、曝光与图形化相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 FPA-6300ESW 采用宽视场投影镜头，支持 33 mm x 42.2 mm 视场。 官网说明该机型可在不拼接的情况下曝光全尺寸 CMOS 图像传感器。 该产品基于 FPA-6300ES6a 平台，面向 300 mm 晶圆工艺。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。