Canon FPA-3030i5a i 线步进式光刻机产品信息

Canon FPA-3030i5a 可用于光刻、曝光与图形化相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 FPA-3030i5a 面向 200 mm 或更小基板的 i 线光刻工艺。 官网说明该机型生产率提升 17%，功耗降低 20%。 该设备采用带暗场功能的 Off-Axis Alignment Scope。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。