产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 300毫米沉积 多室溅射系统 ENTRONTM-EX2 W300 是可以结合各种工艺的最新平台。具有可扩展性的高端机型，可满足客户下一代高吞吐量、节能等需求。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 量产300mm溅射 Entron-EX 多室溅射系统专为 300mm 半导体市场而设计。该系统配备了最新的处理室，可进行先进的 300mm 处理。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 多层辊涂 SPW系列辊涂机能够在塑料薄膜上溅射光学薄膜、金属和多层薄膜。该系列工具具有独立的室，用于批量处理高功能多层薄膜。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 低温溅射 SME系统有多种核心类型可供选择；方形、六角形或八角形。这允许用户配置从研发到大批量生产的系统。此外，客户可以配置带有各种加热器和阴极的工艺室，以确保满足其工艺需求。

ULVAC SMV-500F 面向薄膜沉积、外延与真空镀膜场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

ULVAC SRH Series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

ULVAC ULDiS Series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 终极可配置性 ULVAC 推出了 uGmni 系列，这是一个集沉积和蚀刻设备于一体的集群系统，使我们的客户能够在同一传输核心上配备各种不同的工艺模块，包括溅射、蚀刻等。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 量产溅射 Load-Lock 型滚筒旋转 EMI 屏蔽溅射系统。交货记录大，用于批量生产。该设备用于在生产过程中以低温工艺沉积各种频段的EMI屏蔽（电磁干扰屏蔽）。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 PVD 集群系统 辊涂机在线系统 R&D 300mm 集群系统 辊涂机 在线系统 300毫米 真空炉 在线面板溅射 SIV 在线系统适用于在最大 1,000mm x 1,000mm 的基材上进行 PVD。用于将 LCO、LPO 和 ITO 沉积到面板上的出色工具。系统最大基板尺寸可达 500 毫米。

ULVAC CS-200 面向半导体工艺验证、产线补线与设备流通场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 真空炉 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 大容量钎焊炉 FB 系列钎焊炉是一种大批量生产系统，具有良好的记录。 FB 系列系统用于钎焊热交换器，例如 EGR 冷却器、散热器和蒸发器。

ULVAC FHHn series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 真空炉 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 立式真空热处理 FHV系列用于各种金属的淬火、回火、钎焊等多种用途。垂直两室配置由加热室/准备室/冷却室设计组成，通过采用升降机构，有助于节省空间。

ULVAC FHB-60C 面向半导体厂务配套、真空、气体与工艺辅助系统场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 真空炉 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 钎焊炉 真空烧结 真空感应熔炼 真空热处理 真空感应熔炼炉 自 1957 年生产第一台设备以来，ULVAC 已向日本和世界各地的客户交付了 200 多台真空感应熔炼炉。这些熔炉为特种钢、电子材料和新材料等广泛的行业应用做出了贡献。

ULVAC FSC Series 面向干法刻蚀、等离子体处理与表面清洗场景，页面整理公开资料中的型号、用途和初步选型要点，适合科研检测、材料表征、工艺验证或设备采购沟通。

紧凑、少周期、CEP 稳定的 OPCPA 系统

产品信息 scia Mill 150 设计用于构建各种材料的复杂多层结构。凭借其完全反应气体兼容性，该系统还可以实现具有增强选择性和速率的反应蚀刻工艺。由于其节省空间的设计，scia Mill 150 非常适合小规模生产和研发应用。