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ANALYSETTE 3 SPARTAN

ANALYSETTE 3 SPARTAN

FRITSCH ANALYSETTE 3 SPARTAN 筛分仪

FRITSCH ANALYSETTE 3 SPARTAN 面向颗粒粒度、颗粒形貌和样品分散分析场景，页面整理官方产品资料中的用途、特点和关键参数，便于型号初筛与采购沟通。

AIXTRON G10-SiC 碳化硅功率电子外延系统

G10-SiC

AIXTRON G10-SiC 碳化硅功率电子外延系统

G10-SiC 是 AIXTRON 面向 SiC 功率电子的 150/200 mm 高通量外延系统，采用可兼容双晶圆尺寸的批量反应器。

晶圆尺寸150 mm 和 200 mm
反应器配置9 x 150 mm 与 6 x 200 mm Planetary Reactor

AIXTRON G10-GaN 氮化镓功率与射频外延系统

G10-GaN

AIXTRON G10-GaN 氮化镓功率与射频外延系统

G10-GaN 是 AIXTRON 面向 150/200 mm GaN 功率和射频应用的高通量外延系统。

晶圆尺寸150 mm 和 200 mm
工艺腔3 个工艺腔紧凑集群设计

AIXTRON G10-AsP 全自动 GaAs/InP MOCVD 系统

G10-AsP

AIXTRON G10-AsP 全自动 GaAs/InP MOCVD 系统

G10-AsP 是 AIXTRON 面向 GaAs/InP 材料大批量生产的全自动 MOCVD 系统。

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半导体工艺设备

薄膜沉积与PVD系统

快速热处理与CVD/ALD系统

铁电与压电测试系统

半导体涂胶显影与晶圆处理设备

激光光谱与光子学系统

光刻、太阳模拟与计量设备

晶圆键合、光刻与量测系统

晶圆检测、晶体生长与等离子工艺设备

低温、磁学与材料表征系统

薄膜沉积、PVD/ALD 与真空系统

光刻、无掩模直写与曝光系统

扫描探针、低温显微与磁测量系统

开尔文探针、表面电势与光电子系统

介电、阻抗与温控测量系统

晶圆键合、对准与键合系统

磁光克尔效应与无掩模光刻系统

离子注入系统

薄膜沉积与真空工艺系统

半导体二手设备

半导体检测量测设备

半导体沉积与热处理设备

晶圆尺寸75 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 可选 SMIF port
晶圆盒电梯2 x 25 wafer cassettes 真空 cassette elevators

AIXTRON AIX G5+ C 化合物半导体沉积系统

AIX G5+ C

AIXTRON AIX G5+ C 化合物半导体沉积系统

AIX G5+ C 是 AIXTRON 面向 150/200 mm 衬底高级 GaN 应用的 Planetary reactor 模块。

衬底尺寸150/200 mm
适用衬底Si / Sapphire / SiC

AIXTRON Closed Coupled Showerhead CCS 研发型 MOCVD 系统

Closed Coupled Showerhead CCS Systems for R&D

AIXTRON Closed Coupled Showerhead CCS 研发型 MOCVD 系统

Closed Coupled Showerhead CCS Systems for R&D 是 AIXTRON 面向研发和小规模生产的灵活 MOCVD 系统。

配置3 x 2 inch，1 x 3 inch，1 x 4 inch
配置6 x 2 inch，7 x 2 inch，3 x 3 inch，1 x 4 inch，1 x 6 inch

AIXTRON AIX 2800G4-TM IC2 GaAs/InP 外延反应器

AIX 2800G4-TM (IC2)

AIXTRON AIX 2800G4-TM IC2 GaAs/InP 外延反应器

AIX 2800G4-TM (IC2) 是 AIXTRON 面向 GaAs/InP 基光电子和射频应用大批量制造的反应器。

配置15 x 4 inch；8 x 6 inch
反应器True horizontal flow Planetary Reactor

AIXTRON AIX G5 WW C 碳化硅功率电子外延系统

AIX G5 WW C

AIXTRON AIX G5 WW C 碳化硅功率电子外延系统

AIX G5 WW C 是 AIXTRON 面向下一代 SiC 功率电子的高通量批量外延系统，结合批量处理与单片晶圆控制。

配置8 x 150 mm
晶圆旋转单片晶圆旋转

SPECTRO XEPOS能量色散X射线荧光（ED-XRF）光谱仪

SPECTRO XEPOS

SPECTRO XEPOS能量色散X射线荧光（ED-XRF）光谱仪

为满足高要求应用而设计，拥有卓越的新性能水平，重新定义了 ED-XRF 分析

分析技术能量色散 X 射线荧光（ED-XRF）
分析速度最多 2 倍速

SPECTROLAB S – 引领高端金属分析技术

SPECTROLAB

SPECTROLAB S – 引领高端金属分析技术

20秒内获得高准确度的结果（例如：低合金钢），在12秒内分析主要合金元素（例如：铁、铝和铜材料）

SPECTROGREEN MS ICP-MS 光谱仪

SPECTROGREEN MS

SPECTROGREEN MS ICP-MS 光谱仪

出色的性能：为环境、制药和消费品日常检测提供优异的分析能力

采用垂直同步双观测 (DSOI)技术的ICP-OES等离子体发射光谱仪 SPECTROGREEN

SPECTROGREEN

采用垂直同步双观测 (DSOI)技术的ICP-OES等离子体发射光谱仪 SPECTROGREEN

全新革命性的垂直同步双观测（DSOI）技术，使传统的径向等离子体观测仪器的灵敏度提高了数倍。