WaferStorm Wet Processing Platform
WaferStorm 平台是先进封装、MEMS、RF、数据存储和光子学市场中许多关键溶剂型工艺的行业选择。有 2 个版本 - 手动加载 (ML) 和 3300 系列平台。机器学习系统非常适合研发和试点环境。 3300 系列平台是业界的大容量主力。
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WaferStorm 平台是先进封装、MEMS、RF、数据存储和光子学市场中许多关键溶剂型工艺的行业选择。有 2 个版本 - 手动加载 (ML) 和 3300 系列平台。机器学习系统非常适合研发和试点环境。 3300 系列平台是业界的大容量主力。
3300 系列架构非常灵活，因为用户根据吞吐量要求，每个系统最多可以有 8 个腔室。此外，该系统能够以最少的硬件修改处理多种晶圆尺寸和晶圆类型。最后，处理室可以垂直堆叠，从而实现极低的系统占地面积。
系统架构
大容量平台 – 3300 系列
1 – 10 室模块化系统
低占地面积堆叠室
船上化学品供应
多种晶圆尺寸 - 50 至 300mm
多种基材类型 – Si、LiTaO3、蓝宝石、玻璃
研发手动加载平台 – ML
单室-手动装载
WaferStorm 3300 系列平台 手动装载平台
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