TurboDisc EPIK 868 MOCVD 系统 用于 LED 量产

产品信息

领先的性能，最大的资本效率和占地面积节省

Veeco 的 EPIK® 868 是 LED 行业性能最高的 MOCVD 系统，可实现卓越的均匀性和重复性以及低缺陷率。 EPIK 868 采用四反应器配置，采用突破性技术，包括专有的 IsoFlange™ 和 TruHeat™ 技术，可在整个晶圆载体上提供层流和均匀的温度分布。这些技术创新推动了 Mini 和 Micro LED 所需的更高产量。 EPIK 868 固有的 TurboDisc® 技术可实现最高的系统可用性和正常运行时间。 EPIK 868 高容量载体专为大规模生产而设计，可容纳多种 4 英寸或 6 英寸晶圆尺寸，以实现最低的拥有成本。客户可以轻松地将工艺从现有的 TurboDisc 系统转移到新的 EPIK 868 MOCVD 平台，以快速开始生产高质量的 Mini 和 Micro LED。

优异的均匀性和低缺陷率

紧凑的集群架构

高吞吐量架构可实现最大产量

Veeco、AMEC 和 SGL 和解专利诉讼

ALLOS-Veeco 合作实现更好的硅基氮化镓 microLED

Veeco 初步禁令在质疑后得到确认

Veeco 在专利侵权诉讼中赢得初步禁令

Veeco 向中国运送下一代 MOCVD 系统，用于大批量 LED 生产

财务信息

新闻稿