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卓越的吞吐量和可重复性，适用于各种应用

Veeco 的 SPECTOR® Loadlock 离子束溅射系统可为各种应用显着提高产量。 SPECTOR Loadlock 系统能够在基材装载后五分钟内开始沉积，可以轻松地将沉积时间比批量工具所需的典型预处理步骤短的设计的吞吐量翻倍。

通过维持压力、温度、目标表面成分和离子源功率等工艺参数的稳态条件，系统的可重复性也得到了增强。 SPECTOR Loadlock 用户可以期待射频中和器、室衬里和屏蔽等组件的平均维护间隔时间 (MTBM) 得到改善，因为这些组件很少暴露在大气和湿气中。结合起来，这些功能和优势使用户能够以极低的成本制造市场上最高精度和最优质的薄膜。

低/中厚度涂层应用的产量大幅增加

通过固有更稳定的工艺条件提高可重复性

增加了多个关键部件的平均维护间隔时间

改善颗粒物控制

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