产品信息

精密光学薄膜的交钥匙制造利用 Veeco 的 SPECTOR® 离子束溅射 (IBD) 光学镀膜系统实现更高的精度和薄膜工艺灵活性。 SPECTOR IBD 光学镀膜系统具有多种夹具、目标组件和最先进的光学监控系统选项，可满足几乎所有光学薄膜制造应用的产量和器件性能要求。

SPECTOR 双离子束溅射系统

可互换的平台可容纳行星、简单旋转或翻转固定装置

为电信应用提供高产量 200、100 和 50 GHz DWDM 滤波器

满足严格的器件规格，例如窄通带、宽阻带、陡坡和低插入损耗

生产增透膜、复杂的非四分之一波镀膜和超低损耗激光镜

制造具有个位数 ppm 水平吸收和散射的镜子

高能工艺提供更好的堆积密度和低针孔密度

低压操作提供高薄膜纯度

卓越的膜厚控制

SOURCERER 系统管理器具有独特的图形界面，具有实时和动画运动，与市场上任何其他离子束系统控制包相比，SOURCERER® 系统管理器提供更多的控制和灵活性。使用简单的命令或轻松导入的薄膜设计，工艺工程师可以开发先进的自动化配方，启动工艺运行并在运行完成时返回。结合 Veeco 卓越的流程知识和快速响应的全球服务组织，我们在售前和售后制定了标准。

光通信和光纤传感器开发领域的领导者选择 Veeco 的离子束溅射技术