Savannah – Thermal ALD 用于 R&D

产品信息

先进研究的先进能力

Veeco 是全球研究和工业领域原子层沉积 (ALD) 系统的领先供应商，提供全面的服务和通用的交钥匙系统，这些系统在原子尺度上易于使用、价格实惠且准确。薄膜沉积是我们的专长。我们的 Savannah® 系列薄膜沉积工具体现了这些能力。

Savannah® 已成为全球从事 ALD 并寻找经济实惠且强大平台的大学研究人员的首选系统。在过去的十年里，我们已经交付了数百个这样的系统。 Savannah® 对前驱体的有效利用和节能功能大大降低了薄膜沉积系统的运行成本。

主要特点包括：

原位椭偏仪

自组装单层膜

2 秒循环时间

综合臭氧

低蒸气压沉积

批处理

手套箱集成

Savannah® 配备高速气动脉冲阀，使我们独特的 Exposure Mode™ 能够在超高纵横比基材上进行薄膜沉积。这种经过验证的精密薄膜涂层方法可用于在纵横比大于 2000:1 的基材上沉积共形、均匀的薄膜。 Savannah® 提供三种配置：S100、S200 和 S300。 Savannah® 能够容纳不同尺寸的基材（S300 最大可达 300 毫米）。 Savannah® 薄膜沉积系统配备了加热前驱体生产线，并且可选择添加多达 6 条生产线。 Savannah® 能够处理气体、液体或固体前体。