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Propel GaN MOCVD System for R&D and Production
基于 Veeco 成熟的 TurboDisc 技术,加速下一代设备的工艺开发
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基于 Veeco 成熟的 TurboDisc 技术,加速下一代设备的工艺开发
获取有关如何在 200mm (8”) 硅基板上使用 Veeco® Propel® TurboDisc® MOCVD 工具生长 GaN HEMT 结构的基本工艺信息。此信息并非设计、预期、推荐或授权用于任何类型的商业系统或应用。
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Veeco 在专利侵权诉讼中赢得初步禁令
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